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系統說明★凈化能力強，凈化效率可達99.9%★安全，不產生明火★運營成本低，無廢水★易于維護，更換吸附桶簡單方便★操作穩定，采用西門子PLC自動控制★配置應急桶和雙主桶備份吸附桶, 無縫切換★主要應用行業：Semi、FPD、Solar、LED、實···

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詳情介紹

系統說明

★凈化能力強，凈化效率可達99.9%

★安全，不產生明火

★運營成本低，無廢水

★易于維護，更換吸附桶簡單方便

★操作穩定，采用西門子PLC自動控制

★配置應急桶和雙主桶備份吸附桶, 無縫切換

★主要應用行業：Semi、FPD、Solar、LED、實驗室等

★主要應用工藝：IMP、Etch、MOCVD、CVD、廠務等

★可處理的氣體：F2，CL2，HF，HCL，DCS，TCS，BF3，BCL3，PF3，PH3，AsH3，B2H6，SiH4，GeH4，TMA，TMB，DEZ，NH3，H2S，H2Se，SO2，NO2，WF6，C2H4等

★設備尺寸：800(W)x 1850(D)x 1800(H)mm

★吸附劑容量：400L（200Lx2）

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