設(shè)備說明

     本公司為了解決，Epi（磊晶）、Poly （多晶）PECVD化學(xué)氣相沉積工藝尾氣所產(chǎn)生的SiO粉塵在進氣口的堵塞問題，引進美國先進技術(shù)成功研發(fā)出了迄今更高效、更可靠、更低 成本的Epi（磊晶）、Poly （多晶）PECVD化學(xué)氣相沉積工藝的外延爐尾氣凈化器。

     由于采用了本公司研制的先進進氣技術(shù)和承插式活動進氣套管，無需停機的清除粉塵裝置，使該洗滌器的-次維護時間可以長達半年之久。這一優(yōu)異性能帶來了設(shè)備更長的正常運行時間、更高的產(chǎn)量、更優(yōu)異的工藝穩(wěn)定性和更高的安全性。 外延爐尾氣凈化器，其產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)達到國際同類產(chǎn)品先進水平，具有結(jié)構(gòu)緊湊、制作成本低、設(shè)備能耗低、運行噪音低、運行成本低、廢氣凈化效 宰高、廢氣處理效果好、設(shè)備檢修方便、維護停機時間短、設(shè)備正常運行時間長、工藝穩(wěn)定性好、安全可靠等諸多特點。

 應(yīng)用領(lǐng)域

    外延爐尾氣凈化器主要處理Epi（磊晶）、Poly（多晶）、PECVD化學(xué)氣相沉積工藝尾氣所產(chǎn)生的二氧化硅（SIO2） 粉塵、三氟化硅（SiHC3)四氯化硅（sicl4）其它粉塵和任何水溶性污染物廢氣流等。