設(shè)備說(shuō)明

  本產(chǎn)品采用優(yōu)質(zhì)不銹鋼板進(jìn)行制造，根據(jù)硅烷與空氣接觸而自然的特點(diǎn)，使硅烷在燃燒室與空氣接觸燃燒，燃燒后的氣體穿過(guò)填料層再進(jìn)入燃燒塔噴淋室，經(jīng)過(guò)噴霧處理使廢氣與中和循環(huán)液接觸反應(yīng)，然后進(jìn)入脫液器脫液處理后由抽風(fēng)機(jī)排入大氣中。

注意事項(xiàng)

 ?不銹鋼硅烷燃燒凈化塔必須保證負(fù)壓200Pa以上，

  ?PECVD設(shè)備真空泵后面必須加裝應(yīng)急燃燒筒（詳見(jiàn)設(shè)備流程圖），

 ?不銹鋼硅烷燃燒浄化塔必須采用新工藝，雙風(fēng)機(jī)抽風(fēng)一用一備，

  ?風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口的電動(dòng)調(diào)節(jié)閥必須與風(fēng)機(jī)聯(lián)動(dòng)，

  ?風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口前必須加裝蝶閥，以控制硅烷燃燒凈化裝置內(nèi)負(fù)壓，

  ?硅烷燃燒凈化裝置新風(fēng)補(bǔ)風(fēng)口必須加裝調(diào)節(jié)閥，

 ?進(jìn)氣管接口外1-1.5米處必須由可以拆裝的連接口，以便清除燃燒箱雜物而可以拆除。