常見處理工藝比較：有機廢氣污染物種類繁多，特性各異，因此相應采用的治理方法也各不相同，常用的有：冷凝法、吸收法、吸附法、生物法、催化氧化法等；近年來由國外也發展出一些新的工藝技術：生物法、低溫等離子法等，以下對各工藝作簡要對比介紹。

1、冷凝法

   是把廢氣直接導入冷凝器冷凝，冷凝液經分離可回收有價值的有機物。采用冷凝法要求廢氣中有機物濃度高,一般有機物濃度要達到幾萬甚至幾十萬ppm，對于低濃度有機廢氣此法不適用。

2．吸收法

    吸收法可分為化學吸收和物理吸收，大部分有機廢氣不宜采用化學吸收。物理吸收要求吸收劑應具有與吸收組分有較高的親和力，低揮發性，吸收液飽和后經解析或精餾后重新使用。本法適合于中高濃度的廢氣，但要選 擇一種廉價高效的低揮發性吸收液也比較困難，同時二次污染問題較難解決，凈化效果不理想。

3．吸附法

     有機廢氣通過活性炭的吸附，可達到90%～99%以上的凈化率，設備簡單、 投資小。該法可以采用水蒸汽等能對吸附飽和的活性炭進行再生，但運行費用相當高，適用于有回收價值的中高濃度 VOCs。

4．生物法

     該法是基于成熟的生物處理污水技術上發展起來，具有能耗低、運行費用少的特點，在國外有一定規模的應用。其缺點在于污染物在傳質和消解過程中需要有足夠的停留時間，從而增大了設備的占地，同時由于微生物具有 一定的耐沖擊負荷限值，增加了整個處理系統在停啟時的控制。該法目前在 國內污水站廢氣治理中有少量應用，對工業廢氣治理的應用很少。

5．蓄熱式氧化法

     該法是利用天然氣或燃料油燃燒放出的熱量將混合氣體加熱到一定溫度825℃，滯留一定的時間(0.5～1秒)，使可燃的有害物質進行高溫分解變為無害物質。本法的特點：工藝簡單、去除率高，通過蓄熱材料回收熱量，可以達到90～95%的熱回收率，運行費用較少，尤其對于一些復雜組分處理效果較好。